電子工業(yè)中，高純氦氣的最大應(yīng)用是半導體器件的生產(chǎn)。起始材料,超純半導體的單晶體，如硅和鍺共熔體生長的過程利用氦既用為保護氣又作為傳熱介質(zhì)。只有非常純的惰性氣體高純氦氣(- 般要求純度為99.999%~99.99999%)才可以保證極高的晶體純度。惰性氣體高純氦氣還用做摻雜氣(如砷化氫和磷化氫)的稀釋氣和載氣，摻雜氣在半導體器中用來生成N結(jié)和P結(jié)。

       在某些高壓電子管轉(zhuǎn)換開關(guān)和調(diào)整管中也要用到氦。氦- 氬混合氣在電子元件封裝等I藝過程所需的微件焊接中用做保護氣。用氦氣作半導體生產(chǎn)過程的運載氣體,可以安全地將揮發(fā)性物質(zhì)或氣體混合物從發(fā)生源輸送到擴散爐管或反應(yīng)器的工作室。文章來源高純氦氣http://www.koutsubengo.com/。